半導體專用 無氧氮氣烘箱 真空干燥箱 ppm級別650升

一、產品概述：

       適用于航空、汽車、工礦企業、家電、實驗室、科研單位及大專院校等領域對其產品及材料進行高溫烘烤、溫度干燥、低真空密封試驗、無氧處理，高溫去應力、高溫固化等應用。

二、運行（工作）原理：

1、操作屏設定工作真空度與溫度值，控制系統發出指令電磁閥與真空泵自動工作，到達設定壓力值真空系統停止工作，放氣電磁閥自動打開解除真空。

2、當溫度未達到設定值時繼續給加熱器系統指令，加熱板溫度到達后可選擇保溫，保溫終了，當設定值小于測量值時，控制器給冷卻循環系統指令，自動降溫開始，到達設定值是保持或者繼續降溫。

二、技術參數：

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• 型號	GZF-6630
  產品名稱	高溫真空烘箱
  控溫范圍	RT+15～400℃
  溫度分辨率	±0.1℃
  溫度波動度	±0.3℃
  傳感器精度	±0.1℃
  溫度均勻度	±5℃
  氧氣含量	在線檢測范圍1ppm~25%
  氧氣精度	0~1000ppm±1ppm，1%~25%±0.1%
  真空度控制范圍	0-99.99KPa
  設計極限真空度	10Pa
  升溫速率	1~5℃/min
  降溫速率	0.5~3℃/min
  工作室尺寸（深*寬*高）	680mm*680mm*1370mm
  外部尺寸（深*寬*高）	約980mm*1600m*1620mm（不含腳輪）
  外殼材料	優質冷軋鋼板，表面靜電噴塑
  內膽材料	優質SUS316L不銹鋼板
  擱  板	標配12塊，最大負20Kg，
  加熱功率	25000W
  電  源	AC380V/50HZ

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• 四、產品持點：

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• 1、 自動抽真空：通過PLC繼電器來控制自動抽真空，且實現延時抽真空及定時開關機。

• 2、 抽氣管路裝有電磁閥?？稍O置定時開啟真空泵，自動抽氣，定時停機功能。

• 3、 高精度微電腦PLC程序控溫儀，具備12個溫度模塊控制通道，溫度獨立控制，采用PID與經驗值模糊控制技術，控溫精確、波動度小，工作溫度任意設定，數據記錄儲存，USB數據導出功能，故障報警查詢功能。

• 4、 PLC界面具備選擇固定值的溫度與真空度模式與分段保溫或者溫度斜率控制模式兩組。

• 5、 各通道運行溫度、真空度、時間自動記錄，可查詢，可USB拷貝

• 6、 R485/232通訊協議與通訊接口（可選用以太網口連接通訊，對接上位機系統）

• 7、 數字獨立限溫保護，接地保護，漏電保護，真空泵過熱保護，循環電機過載保護。